|
| 英文名稱： |
Micro-electromechanical systems(MEMS) technology—Impact test method for nanostructures of silicon based MEMS |
 中標(biāo)分類： |
電子元器件與信息技術(shù)>>微電路>>L59微型組件 |
| ICS分類： |
電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué) |
| 發(fā)布部門： |
國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 |
| 發(fā)布日期： |
2023-08-06 |
| 實施日期： |
2023-12-01
|
| 提出單位： |
全國微機電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 336) |
| 歸口單位： |
全國微機電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 336) |
| 起草單位： |
北京大學(xué)、中機生產(chǎn)力促進中心有限公司、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、北京燕東微電子科技有限公司、寧波芯健半導(dǎo)體有限公司、深圳市美思先端電子有限公司、上海臨港新片區(qū)跨境數(shù)據(jù)科技有限公司、廣州奧松電子股份有限公司 |
| 起草人： |
張大成、楊芳、李根梓、顧楓、劉鵬、王旭峰、李鳳陽、高程武、于志恒、陳藝、華璇卿、劉若冰、張彥秀、羅書明、武斌、張啟心、張賓 |
| 頁數(shù)： |
16頁 |
| 出版社： |
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社 |