| 標準編號 |
標準名稱 |
發(fā)布部門 |
實施日期 |
狀態(tài) |
| T/TMCA 128-2025 |
集成母排（CCS）電氣性能測試方法 |
中國技術(shù)市場協(xié)會
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2025-03-03 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 26111-2023 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2023-09-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 42158-2023 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 微溝槽和棱錐式針結(jié)構(gòu)的描述和測量方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2023-07-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 42191-2023 |
MEMS壓阻式壓力敏感器件性能試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2023-09-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 42597-2023 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 陀螺儀 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2023-09-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 42895-2023 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS微結(jié)構(gòu)彎曲強度試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2023-12-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 42896-2023 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS納尺度結(jié)構(gòu)沖擊試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2023-12-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 42897-2023 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 硅基MEMS納米厚度膜抗拉強度試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2023-12-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44513-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2025-01-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44514-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 層狀MEMS材料界面黏附能四點彎曲試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2024-09-29 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44515-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS壓電薄膜機電轉(zhuǎn)換特性測量方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2025-01-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44517-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS膜殘余應(yīng)力的晶圓曲率和懸臂梁撓度試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2025-04-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44529-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 射頻MEMS環(huán)行器和隔離器 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2024-09-29 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44531-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 基于MEMS技術(shù)的車規(guī)級壓力傳感器技術(shù)規(guī)范 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2024-09-29 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44839-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS材料微柱壓縮試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2025-02-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44842-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 薄膜材料的彎曲試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2024-10-26 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44849-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 金屬膜材料成形極限測量方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2025-05-01 |
現(xiàn)行 |
| GB/T 44919-2024 |
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 薄膜力學(xué)性能的鼓脹試驗方法 |
國家市場監(jiān)督管理總局.
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2024-11-28 |
現(xiàn)行 |
| SJ 20527/5-2002 |
微波組件 WFK170018型單刀七擲開關(guān)詳細規(guī)范 |
信息產(chǎn)業(yè)部
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2002-01-01 |
現(xiàn)行 |
| T/TMAC 129-2025 |
集成母排（CCS）熱壓合工藝規(guī)范 |
中國技術(shù)市場協(xié)會
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2025-03-03 |
現(xiàn)行 |