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標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 15861-1995	標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：已作廢

標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格：24.0 元	客戶評(píng)分：

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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子束蝕刻機(jī)的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、運(yùn)輸、貯存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機(jī)。


英文名稱：	Generic specification of ion beam etching system
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：	已作廢
替代情況：	被GB/T 15861-2012代替
中標(biāo)分類：	電子元器件與信息技術(shù)>>電子工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備>>L97加工專用設(shè)備
ICS分類：	電子學(xué)>>31.200集成電路、微電子學(xué)
發(fā)布部門：	國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：	1995-01-02
實(shí)施日期：	1996-08-01
作廢日期：	2013-02-15
首發(fā)日期：	1995-12-22
復(fù)審日期：	2004-10-14
歸口單位：	信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
主管部門：	信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
起草單位：	電子部長(zhǎng)沙半導(dǎo)體工藝設(shè)備所
頁數(shù)：	平裝16開，頁數(shù)：10，字?jǐn)?shù)：15千字
出版社：	中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
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