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| 英文名稱： |
Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder—Ion chromatography method |
 中標(biāo)分類： |
冶金>>金屬化學(xué)分析方法>>H17半金屬及半導(dǎo)體材料分析方法 |
| ICS分類： |
冶金>>77.040金屬材料試驗(yàn) |
| 發(fā)布部門： |
國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2022-12-30 |
| 實(shí)施日期： |
2023-04-01
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| 提出單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)、全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 2) |
| 歸口單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)、全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 2) |
| 起草單位： |
新特能源股份有限公司、新疆晶碩新材料有限公司、瑞士萬(wàn)通中國(guó)有限公司、江蘇塞夫特半導(dǎo)體材料檢測(cè)技術(shù)有限公司、青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司、青島普仁儀器有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、江蘇聯(lián)瑞新材料股份有限公司、青島瓷興新材料有限公司 |
| 起草人： |
銀波、邱艷梅、劉國(guó)霞、黃彬、李素青、張吉武、宋炳信、魯文鋒、王港、李玫、張正霞、吳英良、侯倩慧、王曉嬌、曹家凱、高裕昆、崔巍 |
| 頁(yè)數(shù)： |
12頁(yè) |
| 出版社： |
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社 |