俄歇電子能譜分析方法通則 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T 26533-2011 |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)價格：36.0 元 |
客戶評分：  |
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本標(biāo)準(zhǔn)有現(xiàn)貨可當(dāng)天發(fā)貨一線城市最快隔天可到！ |
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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了以電子束為激發(fā)源的俄歇電子能譜(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀。 |
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| 英文名稱： |
General rules for Auger electron spectroscopic analysis |
 中標(biāo)分類： |
儀器、儀表>>光學(xué)儀器>>N33電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器 |
| ICS分類： |
37.020;17.180 |
| 發(fā)布部門： |
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 |
| 發(fā)布日期： |
2011-05-12 |
| 實(shí)施日期： |
2011-12-01
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| 首發(fā)日期： |
2011-05-12 |
| 提出單位： |
全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 38) |
| 歸口單位： |
全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 38) |
| 主管部門： |
全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 38) |
| 起草單位： |
清華大學(xué)化學(xué)系 |
| 起草人： |
姚文清、李展平、曹立禮、朱永法 |
| 頁數(shù)： |
16頁 |
| 出版社： |
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社 |
| 出版日期： |
2011-12-01 |
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本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC38)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:清華大學(xué)化學(xué)系。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:姚文清、李展平、曹立禮、朱永法。 |
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前言 Ⅲ
1 范圍 1
2 規(guī)范性引用文件 1
3 術(shù)語和定義 1
4 方法原理 1
5 儀器 2
5.1 儀器組成 2
5.2 儀器性能 3
6 樣品 3
7 分析步驟 4
7.1 能量標(biāo)尺校正 4
7.2 AES定性分析及操作步驟 6
7.3 俄歇電子能譜的定量分析 6
7.4 深度剖析 7
7.5 元素化學(xué)態(tài)分析 7
8 分析結(jié)果的表述 7
8.1 俄歇全譜 7
8.2 窄譜 7
8.3 線掃描譜 7
8.4 深度剖析譜 7
8.5 多點(diǎn)顯微對比分析 8
8.6 樣品表面元素分布圖(Augermap) 8
8.7 分析結(jié)果表述方式 8
圖1 KL1L3 俄歇躍遷 2
圖2 俄歇電子能譜簡圖 2
圖3 Cu、Au和Al三個參考物質(zhì)的直接譜和微分譜(相對能量分辨率0.3%) 5
表1 參考物質(zhì)的俄歇電子動能參考值 4 |
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下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T22461—2008 表面化學(xué)分析 詞匯
ISO/TR15969:2001 表面化學(xué)分析 深度分析 濺射深度的測量(SurfaceChemicalAnalysis—DepthProfiling—MeasurementofSputteredDepth)
ISO18116:2005 表面化學(xué)分析 表面分析樣品的制備和固定方法指南(SurfaceChemicalAnalysis—GuidelinesforPreparationandMountingofSpecimensforAnalysis)
ISO18118:2002(E) 表面化學(xué)分析 AES和XPS均勻材料定量分析所用的實(shí)驗(yàn)相對靈敏度因子使用指南(SurfaceChemicalAnalysis—AESandXPS—GuidetouseofExperimentalRelativeSensitivityFactorsfortheQuantitativeAnalysisofHomogeneousMaterials)
ISO/TR18394:2006 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜 化學(xué)信息來源(SurfaceChemical
Analysis—AugerElectronSpectrometers—DerivationofChemicalInformation)
ISO/TR19319:2003 表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X 射線光電子譜 分析者對于橫向分辨率、分析范圍和樣品觀察范圍的測定(SurfaceChemicalAnalysis—AugerEletronSpectroscopyandXrayPhotoelectronSpectroscopy—
DeterminationofLateralResolution,Analysis Area,andSample
AreaViewedbytheAnalyser)
ASTM E1078—2002 表面分析中制樣和裝樣的標(biāo)準(zhǔn)指南(StandsardGuideforSpecimenPreparationandMountinginSurfaceAnalysis)
ASTM E1829—2002 表面分析前樣品處理標(biāo)準(zhǔn)指南(StandsardGuideforHandlingSpecimens
PriortoSurfaceAnalysis) |
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