鋼表面納米、亞微米尺度薄膜 素深度分布的定量測定 輝光放電原子發(fā)射光譜法 |
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| 標準編號：GB/T 22462-2008 |
標準狀態(tài)：現(xiàn)行 |
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| 標準價格：44.0 元 |
客戶評分：  |
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本標準采用輝光放電原子發(fā)射光譜法用于定量測定鋼表面納米、亞微米尺度薄膜（金屬鍍膜和氧化膜）中膜厚、鍍層質(zhì)量（單位面積）和薄膜中的元素深度分布。
本方法適用于測定3nm～1000nm厚度的鋼表面薄膜，適用的元素包括：鐵、鉻、鎳、銅、鈦、錳、鋁、碳、磷、氧、氮和硅。 |
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| 英文名稱： |
Nano Sub-micron scale film on steel - Quantitative depth profile analysis - Glow discharge atomic emission spectrometry |
 中標分類： |
化工>>化工綜合>>G04基礎(chǔ)標準與通用方法 |
| ICS分類： |
計量學和測量、物理現(xiàn)象>>17.180光學和光學測量 |
| 采標情況： |
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| 發(fā)布部門： |
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會 |
| 發(fā)布日期： |
2008-10-30 |
| 實施日期： |
2009-06-01
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| 首發(fā)日期： |
2008-10-30 |
| 提出單位： |
全國微束分析標準化技術(shù)委員會 |
| 歸口單位： |
全國微束分析標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 38) |
| 主管部門： |
全國微束分析標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 38) |
| 起草單位： |
寶山鋼鐵股份有限公司、中國科學院物理研究所、中國科學院化學研究所、冶金工業(yè)信息標準研究院 |
| 起草人： |
張毅、陳英穎、沈電洪、劉芬、何曉蕾、鄔君飛、欒燕 |
| 計劃單號： |
20075696-T-469 |
| 頁數(shù)： |
20頁 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |
| 出版日期： |
2009-06-01 |
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本標準的附錄A、附錄B均為資料性附錄,附錄C 為規(guī)范性附錄。
本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會提出。
本標準由全國微束分析標準化技術(shù)委員會(SAC/TC38)歸口。
本標準負責起草單位:寶山鋼鐵股份有限公司、中國科學院物理研究所、中國科學院化學研究所、冶金工業(yè)信息標準研究院。
本標準主要起草人:張毅、陳英穎、沈電洪、劉芬、何曉蕾、鄔君飛、欒燕。 |
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前言Ⅲ
1 范圍1
2 規(guī)范性引用文件1
3 術(shù)語和定義1
4 原理1
5 儀器2
5.1 概述2
5.2 儀器性能要求2
6 樣品制備3
7 分析步驟3
7.1 譜線的選擇3
7.2 優(yōu)化輝光放電原子發(fā)射光譜儀的放電參數(shù)3
7.3 工作曲線5
7.4 工作曲線的確認7
7.5 漂移校正8
7.6 樣品分析8
8 分析結(jié)果的表示8
8.1 定量深度剖析的表示8
8.2 膜厚和鍍層質(zhì)量(單位面積)的測定9
9 精密度9
10 試驗報告9
附錄A (資料性附錄) 推薦的元素特征譜線波長10
附錄B (資料性附錄) 常見的氧化物密度11
附錄C (規(guī)范性附錄) 共同實驗附加資料12 |
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下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版本均不適用于本標準,然而,鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標準。
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