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本標準規(guī)定了一種用于一般分析目的時校準X射線光電子能譜儀結合能標尺的方法，該譜儀使用非單色化Al或Mg X射線或單色化Al X射線。它僅適于帶有濺射清潔用的離子槍的儀器。本標準還進一步規(guī)定了一種方法，用以建立校準程序、在中間某一能量值測試結合能標尺線性度、在高低結合能區(qū)各取一點確認標尺校準的不確定度、對標尺的小漂移作修正以及規(guī)定在95％置信度時該結合能標尺校準的擴展不確定度。這個不確定度包括來自實驗室際研究中觀察到的現(xiàn)象的貢獻，但不涵蓋所有可能發(fā)生的缺陷。本標準不適用有下述情況的儀器：結合能標尺的誤差隨能量明顯非線性變化、工作在固定減速比模式且減速比小于10、譜儀的分辨率差于1.5 eV或者要求容差極限為 ±0.03 eV或更小。本標準不提供全標尺校準檢驗，該檢驗要對每一個在能量標尺上能找到的點加以驗證，需按儀器制造商的推薦程序進行。 |
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