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磁控濺射硅靶材及綁定靶材

國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)編號:T/CAS 304-2018 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):已廢止
標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格:0.0 客戶評分:星星星星1
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標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了磁控濺射硅靶材的分類及牌號、原料、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、供貨狀態(tài)及訂貨單(或合同)內(nèi)容。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體等電子器件用的各種磁控濺射硅靶材。
英文名稱:  Magnetron sputtering silicon targets and bound targets
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):  已廢止
什么是替代情況? 替代情況:  公告:中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會關(guān)于廢止《液化石油氣瓶消防安全節(jié)能閥》等187項(xiàng)中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)的通知
什么是中標(biāo)分類? 中標(biāo)分類:  電子元器件與信息技術(shù)>>電子元件>>L19磁性元器件
什么是ICS分類?  ICS分類:  電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門:  中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會
發(fā)布日期:  2018-05-29
實(shí)施日期:  2018-05-29
作廢日期:  2025-07-01
提出單位:  中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會
什么是歸口單位? 歸口單位:  中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會
起草單位:  青島藍(lán)光晶科新材料有限公司、大工(青島)新能源材料技術(shù)研究院有限公司、河北東同光電科技有限公司、大連理工大學(xué)
起草人:  張磊、姜大川、崔娜、李鵬廷、譚毅、顧正、石爽、康明生、朱輝、郄奕、張衛(wèi)、姚玉杰、陳良杰、李云飛、王登科
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