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| 英文名稱: |
Magnetron sputtering silicon targets and bound targets |
| 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài): |
已廢止 |
替代情況: |
公告:中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會關(guān)于廢止《液化石油氣瓶消防安全節(jié)能閥》等187項(xiàng)中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會標(biāo)準(zhǔn)的通知 |
中標(biāo)分類: |
電子元器件與信息技術(shù)>>電子元件>>L19磁性元器件 |
ICS分類: |
電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料 |
| 發(fā)布部門: |
中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會 |
| 發(fā)布日期: |
2018-05-29 |
| 實(shí)施日期: |
2018-05-29
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| 作廢日期: |
2025-07-01
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| 提出單位: |
中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會 |
歸口單位: |
中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會 |
| 起草單位: |
青島藍(lán)光晶科新材料有限公司、大工(青島)新能源材料技術(shù)研究院有限公司、河北東同光電科技有限公司、大連理工大學(xué) |
| 起草人: |
張磊、姜大川、崔娜、李鵬廷、譚毅、顧正、石爽、康明生、朱輝、郄奕、張衛(wèi)、姚玉杰、陳良杰、李云飛、王登科 |