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| 英文名稱： |
Electronic specialty gas—Nitric oxide |
 中標(biāo)分類： |
化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體 |
| ICS分類： |
化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體 |
| 發(fā)布部門(mén)： |
國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2023-08-06 |
| 實(shí)施日期： |
2024-03-01
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| 提出單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203) |
| 歸口單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203) |
| 起草單位： |
大連科利德光電子材料有限公司、昊華氣體有限公司、湖州市南潯區(qū)佰通標(biāo)準(zhǔn)化研究院、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司、華測(cè)檢測(cè)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司、綠菱電子材料(天津)有限公司等 |
| 起草人： |
施旖旎、付夢(mèng)月、陳輝、劉穎、焦培培、郭瓊、張?zhí)鞚�、李翔宇、袁瑞玲、邵治平、傅鑄紅、陳艷珊、金向華、孫猛、廖恒易、茹高藝、曹雪楓、湯萍、牛艷東、李長(zhǎng)健、馬彬淇、杜大艷、曹小林、方強(qiáng)、袁有錄、王小波、尹愛(ài)華、常俠、邊魯寧、陽(yáng)輝、汪正宏、陳潔、吳靚、方華等 |
| 頁(yè)數(shù)： |
16頁(yè) |
| 出版社： |
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社 |