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| 英文名稱： |
Electronic specialty gas—Hexachlorodisilane |
 中標(biāo)分類： |
化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體 |
| ICS分類： |
化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體 |
| 發(fā)布部門(mén)： |
國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2023-08-06 |
| 實(shí)施日期： |
2024-03-01
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| 提出單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203) |
| 歸口單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203) |
| 起草單位： |
洛陽(yáng)中硅高科技有限公司、昊華氣體有限公司、亞洲硅業(yè)(青海)股份有限公司、中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司、福建久策氣體股份有限公司、湖州市南潯區(qū)佰通標(biāo)準(zhǔn)化研究院、廣東華特氣體股份有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司等 |
| 起草人： |
萬(wàn)燁、王娟、張園園、付夢(mèng)月、嚴(yán)大洲、郭瓊、陳海寶、魏東亮、柳彤、沙婷、曹素英、陳輝、張?zhí)鞚�、廖恒易、陳艷珊、金向華、孫猛、傅鑄紅、歐基友、牛艷東、劉麗娜、張廣第、馬彬淇、杜大艷、曹小林、方強(qiáng)、袁有錄、陶剛義、楊華志、華祥斌、李紀(jì)明、沈俊、李楷東、陽(yáng)輝等 |
| 頁(yè)數(shù)： |
20頁(yè) |
| 出版社： |
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社 |