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半導(dǎo)體單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):T/CEMIA 023-2021 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格:18.0 客戶評(píng)分:星星星星1
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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本文件界定了半導(dǎo)體單晶硅生長(zhǎng)用石英坩堝的術(shù)語(yǔ)和定義,規(guī)定了規(guī)格尺寸、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、儲(chǔ)存。
本文件適用于以高純石英砂(成分:二氧化硅)為原料,采用電弧熔融法生產(chǎn),用于半導(dǎo)體單晶硅生長(zhǎng)的石英坩堝。
英文名稱:  Quartz crucible for semiconductor monosilicon growth
什么是中標(biāo)分類? 中標(biāo)分類:  電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
什么是ICS分類?  ICS分類:  電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料
發(fā)布部門:  中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)
發(fā)布日期:  2021-07-15
實(shí)施日期:  2021-12-25
提出單位:  中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)
什么是歸口單位? 歸口單位:  中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)
起草單位:  內(nèi)蒙古歐晶科技股份有限公司、錦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司
起草人:  何文兵、陳曼、蘇光都、杜興林、李宗輝、王文慶、朱旦、李曉航、朱劍、徐曉軍、王君偉、王慧、韓東、李秀英、錢宜剛、賈建亮、萬(wàn)鵬遠(yuǎn)、潘志華、楊軍、周銳
頁(yè)數(shù):  16頁(yè)
出版社:  中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
出版日期:  2021-08-01
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