半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面規(guī)范 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：SJ/T 11763-2020 |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格：0.0 元 |
客戶評(píng)分：  |
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立即購(gòu)買(mǎi)工即可享受本標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)變更提醒服務(wù)！ |
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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面的術(shù)語(yǔ)和要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備。 |
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| 發(fā)布部門(mén)： |
中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部 |
| 發(fā)布日期： |
2020-12-09 |
| 實(shí)施日期： |
2021-04-01
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