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硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

國家標準
標準編號:GB/T 1557-2018 標準狀態(tài):現(xiàn)行
標準價格:33.0 客戶評分:星星星星1
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標準簡介
本標準規(guī)定了采用紅外光譜法測定硅單晶晶體中間隙氧含量的方法。
本標準適用于室溫電阻率大于0.1 Ω·cm的N型硅單晶和室溫電阻率大于0.5 Ω·cm的P型硅單晶中間隙氧含量的測定。以常溫紅外設備測試時,氧含量(原子數(shù))測試范圍從1×1016 cm-3到硅中間隙氧的最大固溶度;以低溫紅外設備測試時,氧含量(原子數(shù))的測試范圍從0.5×1015 cm-3到硅中間隙氧的最大固溶度。
英文名稱:  Test method for determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption
什么是替代情況? 替代情況:  替代GB/T 1557-2006
什么是中標分類? 中標分類:  冶金>>金屬化學分析方法>>H17半金屬及半導體材料分析方法
什么是ICS分類?  ICS分類:  冶金>>77.040金屬材料試驗
發(fā)布部門:  國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
發(fā)布日期:  2018-09-17
實施日期:  2019-06-01
提出單位:  全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
什么是歸口單位? 歸口單位:  全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
主管部門:  全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/T
起草單位:  新特能源股份有限公司、有研半導體材料有限公司、亞洲硅業(yè)(青海)有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、隆基綠能科技股份有限公司、內蒙古盾安光伏科技有限公司、峨嵋半導體材料研究所、北京合能陽光新能源技術有限公司
起草人:  銀波、夏進京、邱艷梅、劉國霞、柴歡、趙晶晶、劉文明、姚利忠、王海禮、鄧浩、?高明?、鄭連基、陳赫、石宇、楊旭、肖宗杰
頁數(shù):  12頁
出版社:  中國標準出版社
出版日期:  2018-09-01
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