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光刻用石英玻璃晶圓

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):GB/T 34177-2017 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格:36.0 客戶(hù)評(píng)分:星星星星1
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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光刻用石英玻璃晶圓(以下簡(jiǎn)稱(chēng)石英玻璃晶圓)的術(shù)語(yǔ)和定義、分類(lèi)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體集成電路、光通訊、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、光電器件和發(fā)光二極管(LED)等光刻工藝中用做襯底的石英玻璃晶圓。
英文名稱(chēng):  Quartz glass wafer for lithography
什么是中標(biāo)分類(lèi)? 中標(biāo)分類(lèi):  建材>>陶瓷、玻璃>>Q35石英玻璃
什么是ICS分類(lèi)?  ICS分類(lèi):  玻璃和陶瓷工業(yè)>>玻璃>>81.040.30玻璃產(chǎn)品
發(fā)布部門(mén):  中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
發(fā)布日期:  2017-09-07
實(shí)施日期:  2018-08-01
提出單位:  中國(guó)建筑材料聯(lián)合會(huì)
什么是歸口單位? 歸口單位:  全國(guó)工業(yè)玻璃和特種玻璃標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
起草單位:  中國(guó)建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司、中建材衢州金格蘭石英有限公司、長(zhǎng)沙韶光鉻版有限公司、中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院、國(guó)家安全玻璃及石英玻璃質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心
起草人:  吳潔、王京俠、王友軍、李弋舟、花寧、劉煥敏、肖頌華、聶蘭艦、張浩運(yùn)、楊曉會(huì)、楊學(xué)東、孔敏、張應(yīng)語(yǔ)
頁(yè)數(shù):  16頁(yè)
出版社:  中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
出版日期:  2017-09-01
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