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| 英文名稱： |
Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride |
| 標準狀態(tài)： |
已作廢 |
 替代情況： |
被GB/T 14602-2014代替 |
| 中標分類： |
化工>>其他化工產品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體 |
| ICS分類： |
化工技術>>化工產品>>71.100.20工業(yè)氣體 |
| 發(fā)布部門： |
中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會 |
| 發(fā)布日期： |
2009-10-15 |
| 實施日期： |
2009-12-01
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| 作廢日期： |
2015-07-01
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| 首發(fā)日期： |
2009-10-15 |
| 提出單位： |
全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會(SAC/TC 203) |
| 歸口單位： |
全國半導體材料和設備標準化技術委員會氣體分會(SAC/TC 203) |
| 主管部門： |
國家標準化管理委員會 |
| 起草單位： |
北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、光明化工研究設計院、信息產業(yè)部標準化四所 |
| 起草人： |
張吉瑞、孫福楠、劉筠 |
| 計劃單號： |
20070017-T-469 |
| 頁數： |
16頁 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |
| 出版日期： |
2009-12-01 |